SiC 다공성 세라믹 진공척용 SiC 미세분말
SiC 다공성 세라믹은 다른 세라믹보다 뛰어난 장점을 가지고 있습니다. 고강도, 우수한 내식성, 고온 저항성, 높은 열전도도, 낮은 열팽창 계수, 우수한 열충격 저항성과 같은 장점이 있습니다. 따라서 본딩, 절단, 테이프 설치, 연마 등을 위한 반도체 산업에서 이상적인 진공 척 세라믹입니다. SiC 미세 분말은 SiC 다공성 세라믹 진공 척의 원료일 뿐입니다 .
SiC 다공성 세라믹 진공 척용 블랙 실리콘 카바이드 미분말 의 장점은 다음과 같습니다.
1. 내마모성 및 고온 내성. 척의 장기 연속 작동 요구를 충족할 수 있습니다.
2. 열 팽창률이 낮아 체적 변형으로 인한 고장을 방지합니다.
3. 강한 내식성. 실리콘 카바이드 미분말은 고온 조건에서 흡착 물질과 반응하지 않습니다.
4. 강한 화학적 안정성, 진공 환경에서 부식성 가스 또는 단락이 발생하지 않습니다.
5. 실리콘 카바이드 미세 분말의 입자 크기는 제어 가능합니다. 초박형 실리콘 카바이드 세라믹 진공 척 생산에 적합합니다.
6. 화학 세척 및 물 세척 후 블랙 실리콘 카바이드 초미분말의 함량 및 함량은 매우 낮습니다.
