PZT 재료 연마용 녹색 탄화규소 마이크론

녹색 탄화 규소 미크론은 경도가 높고 기계적 강도가 높은 일종의 비금속 연마재입니다. 공격적인 연삭을 할 수 있습니다. 녹색 탄화규소는 PZT( 압전 세라믹 ) 재료의 연삭에 큰 장점이 있습니다.

PZT는 기계적 에너지와 전기적 에너지를 서로 변환시키는 기능성 세라믹 소재입니다. 그들은 광학, 반도체, 기기 및 기타 분야에서 널리 사용됩니다. 그러나 세라믹은 부서지기 쉽고 압전으로 가공하기가 어렵습니다. PTZ 세라믹의 후기 표면 처리 단계에서는 양면 연마 기계를 사용하여 PZT 웨이퍼를 연마하고 연마합니다. 일반적으로 단계적 거칠기 및 연삭과 같은 PZT의 표면 처리는 녹색 탄화규소 50미크론, 40미크론, 20미크론 및 14미크론 으로 수행됩니다.. 거칠게 한 후 웨이퍼 표면은 흠집없이 균일하며 거칠기는 1.2-1.5um에 도달 할 수 있습니다. 미세 연마 및 미세 연마 단계에서 화이트 커런덤 14미크론, 7미크론 및 5미크론 분말이 미세 연마를 위해 선택됩니다. 연마 후 제품의 거칠기는 50nm 미만입니다.

스크래치 없이 연마의 연삭 효과를 얻으려면 녹색 탄화규소 연마제의 입자 크기를 엄격하게 제어해야 합니다. 이 때 입도는 최대한 같아야 하고 입도 범위는 좁아야 한다. 입자가 크면 세라믹 표면이 손상되기 쉽습니다. 미세 입자가 많으면 분쇄 효율이 떨어집니다. 따라서 수세 오버플로에 의해 등급이 매겨진 녹색 탄화규소 분말이 적절한 연마재입니다.