반도체 장비용 Black SiC 분말 800# – 다공성 탄화규소 세라믹
반도체 생산장비에서는 고성능 세라믹 부품이 필수적이다. 특히 탄화 규소 세라믹은 에칭 기계, 리소그래피 기계, 이온 주입 기계 등과 같은 핵심 장비의 중요한 구성 요소입니다. 예를 들어 연삭 및 연마 석션 컵, 포토 리소그래피 석션 컵, 검사 석션 컵, 에칭 프로세스 및 모션 플랫폼은 모두 다음과 같은 특성을 가지고 있습니다. 탄화규소 세라믹이 존재합니다. 이러한 탄화규소 세라믹 부품은 구조적 안정성, 열 안정성, 내마모성, 내식성 및 높은 치수 정확도가 우수합니다. 탄화규소 세라믹을 생산하는 주요 원료인 탄화규소 분말은 또한 우수하고 안정적인 특성을 가져야 합니다. 그중 다공성 탄화규소 세라믹 흡착컵용 검정색 SiC 분말 800# 이 대표적인 응용 분야입니다.
SiC 분말의 정제된 생산으로 인해 물리적, 화학적 특성과 입자 크기 안정성이 크게 향상되었습니다. 스크리닝, 산 알칼리 세척 및 물 세척을 통해 정제된 미세한 흑색 SiC 분말은 반도체와 같은 첨단 기술 분야의 요구 사항에 더 적합합니다. 구체적인 특징은 다음과 같습니다.
1. 고온 안정성.
Black SiC 분말은 녹는점과 열 안정성이 매우 높기 때문에 다공성 세라믹이 고온 환경에서 우수한 성능을 유지할 수 있습니다.
2. 고순도.
화학 처리 및 물 세척 후 검은 탄화 규소 분말은 자성 함량이 낮고 유리 탄소 함량이 낮으며 유동성이 좋고 분산이 쉽습니다.
3. 입자 크기 농도가 높습니다.
입자 크기의 높은 일관성, 좁은 범위의 분말 입자 및 높은 충전 밀도. 탄화규소 세라믹의 밀도를 향상시킬 수 있습니다.
4. 우수한 기계적 성질.
Black SiC는 경도와 강도가 높고 내압축성이 뛰어납니다. 다공성 세라믹의 기계적 강도와 내마모성을 향상시킬 수 있습니다.
5. 강한 화학적 안정성.
흑색 탄화 규소는 산, 염기 및 대부분의 화학 물질에 대한 내식성이 우수합니다. 이는 다공성 세라믹의 화학적 안정성과 내식성을 향상시킬 수 있습니다.
6. 열전도율이 좋습니다.
흑색 탄화규소의 높은 열 전도성으로 인해 다공성 세라믹은 열을 보다 효과적으로 전달하고 분산시킬 수 있습니다.
7. 열팽창 계수가 낮습니다.
검은색 탄화규소는 열팽창 계수가 더 낮습니다. 온도 변화에 따른 다공성 세라믹의 열 응력과 손상을 줄이는 데 도움이 됩니다.
8. 내산화성이 향상되었습니다.
Black SiC는 다공성 세라믹의 내산화성을 향상시키고 수명을 연장할 수 있습니다.
요약하면, 흑색 탄화 규소를 다공성 세라믹의 첨가제 또는 기본 재료로 사용하면 고온 안정성, 기계적 특성, 화학적 안정성 및 기타 다양한 특성을 크게 향상시킬 수 있습니다. 이러한 장점으로 인해 고온, 고압 및 부식성이 높은 환경, 특히 반도체 장비 산업에서 더욱 광범위하게 적용할 수 있습니다.
