반도체 생산장비에서는 고성능 세라믹 부품이 필수적이다. 특히 탄화 규소 세라믹은 에칭 기계, 리소그래피 기계, 이온 주입 기계 등과 같은 핵심 장비의 중요한 구성 요소입니다. 예를 들어 연삭 및 연마 석션 컵, 포토 리소그래피 석션 컵, 검사 석션 컵, 에칭 프로세스 및 모션 플랫폼은 모두 다음과 같은 특성을 가지고 있습니다. 탄화규소 세라믹이 존재합니다. 이러한 탄화규소 세라믹 부품은 구조적 안정성, 열 안정성, 내마모성, 내식성 및 높은 치수 정확도가 우수합니다. 탄화규소 세라믹을 생산하는 주요 원료인 탄화규소 분말은 또한 우수하고 안정적인 특성을 가져야 합니다. 그중 다공성 탄화규소 세라믹 흡착컵용 검정색 SiC 분말 800#이 대표적인 응용 분야입니다.
레진결합 슈퍼연마재는 주로 인조 다이아몬드나 입방정질화붕소를 주원료로 하여 만든 연삭공구입니다. 강화를 달성하고 다공성을 높이며 비용을 절감하기 위해 초경질 연삭 공구에 초연마재 외에도 충진재를 추가하는 경우가 많습니다. 초경질 연삭 공구의 충진재인 Green SiC 분말은 다음과 같은 기능과 장점을 가지고 있습니다.
재구성된 녹색 탄화규소 100 # 그릿은 특수 분쇄 및 모래 제조 공정으로 처리됩니다. 벌크 밀도는 둥근 입자가 더 많은 일반 녹색 탄화 규소 입자보다 높습니다. 탄화규소 세라믹 부품을 생산할 때 동일한 용기에 더 많은 탄화규소를 첨가하면 방탄 세라믹의 밀도와 기계적 강도를 향상시키는 데 도움이 됩니다. 이 둘의 차이점은 다음 그림에 나와 있습니다.
새로운 건축자재 분야에서는 발포유리 단열재의 개발 추세가 빠릅니다. 발포 유리의 다른 이름은 세라믹 스폰지입니다. 외벽 단열재로서 우수한 단열 효과, 난연성, 변형 방지 및 긴 수명의 특성을 가지고 있습니다. 녹색 SiC 분말은 널리 사용되는 세라믹 소재이며, 녹색 SiC 10000#은 SiC 순도가 98% 이상인 알파상 녹색 탄화규소 분말입니다. 입자 크기 범위는 0.3um~2.5um이며, D50의 평균 입자 크기는 0.6~0.8um입니다. 이 초미세 SiC 분말은 미세하게 분쇄된 연마 분말일 뿐만 아니라 복합 재료에 첨가하여 물리적 특성을 향상시킬 수도 있습니다.
탄화 규소 분말은 고경도 비금속 연마재 제품입니다. 합성 물질의 경도는 다이아몬드에 이어 두 번째입니다. 천연광물에는 탄화규소 물질이 거의 없습니다. 한편, 산업 분야에서의 사용 범위는 광범위합니다. 탄화규소는 국가경제와 국민생활과 관련된 중요한 산업이다. 따라서 Acheson 공정을 통한 제련 생산은 탄화규소 연마재 생산을 위한 불가피한 선택입니다. 그러나 탄화규소의 생산 산업과 장비는 복잡하고 많은 양의 전력을 소비합니다. 중국의 탄화규소 연마재 제조업체는 단계적으로 탐색해 왔으며 현재 중국의 탄화규소 연마재 생산 능력은 전 세계의 80% 이상을 차지합니다.
GC 연마재 분말은 입자 크기가 240mesh -10000mesh인 녹색 카보런덤 분말을 의미합니다. 인기있는 연삭 재료, 세라믹 원료 및 내마모성 재료입니다. 그린탄화규소는 석유코크스, 규사, 코크스를 우드칩, 식염과 함께 고온 제련하여 얻은 특수 소재입니다. GC 연마 분말은 녹색 탄화 규소의 큰 블록을 분쇄, 분쇄, 산 세척, 오버플로 등급 지정 및 건조하여 얻은 미세한 입자입니다. 우수한 특성으로 인해 국방, 항공우주, 전자, 화학야금, 자동차 등의 응용분야에 탁월한 성능을 발휘합니다.
